FOTOLITOGRAFIYA (foto… va litografiya) — 1) toshbosma qolipi tayyorlashning fotomexanik usuli; bunda tasvir negativnaya sirtiga yorugʻlik sezgir qatlami qoplangan tosh (metall) ga koʻchiriladi. Nusxa ochiltirilgandan soʻng unga kimyoviy ishlov beriladi, natijada sirt bosma va probel (oraliq) elementlarga boʻlinadi. Hoz. vaqtda Fotolitografiya kamdankam ishlatiladi;
2) fotorezist (yorugʻ sezgir polimer qatlam) lardagi maxsus fotografik jarayon. F. dan massad fotorezist qatlamida berilgan konfiguratsiya (shakl)dagi «teshik» hosil qilib, shu teshik orqali oksidlangan pardali yarimoʻtkazgichli plastinaga xurushlash moddasi keltirishdir (q. Xurushlash). Bunday «teshik»lar fotorezistni ultrabinafsha nurlanish oqimida yoki elektronlar oqimida maʼlum vaqt qoldirib hosil qilinadi. Natijada xurushlash moddasi erish xususiyatini yoʻqotadi (negativ fotorezist) yoki erish xususiyatiga ega boʻlib krladi (pozitiv fotorezist). Bu usul rangli televizorlarning niqoblarida tartibli joylashgan yuz mingdan ortiq mayda teshik hosil qilishda qullaniladi;
3) Fotolitografiya usuli bilan tayyorlangan litografik bosma qolipdan olinadigan nusxa (q. Litografiya).